ダイヤモンドはなぜ半導体になり得るのか 佐賀大学・嘉数教授が語る「NO2の発見」と実用化への距離

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概要

佐賀大学の嘉数(かすう)教授は、ダイヤモンドを使ったパワー半導体を大学の研究室で試作し、動作させている。この動画では、嘉数教授がダイヤモンド半導体の原理と開発の経緯を説明し、その後、堀江貴文氏がビジネスや宇宙分野の立場から質問と提案をしている。嘉数教授が示したのは、長年「優れているが使えない」と言われてきた材料を動くデバイスにした成果と、実用化までに残る課題である。堀江氏は、日本発の技術を日本の企業が事業として育てるには何が足りないのかを問題にした。

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暑さとパワー半導体の関係

嘉数教授は、まず世界の平均気温が年々上昇していることから話を始めた。教授によれば、気温はおおよそ100年で1度ほど上がっているとされる。新幹線や電気自動車など、社会では電気エネルギーの利用が広がっている。そうした電気機器の内部では、電流や電圧を変換してモーターなどを動かす部品としてパワー半導体が多く使われている。

ただし、変換のたびにどうしても熱の損失が出る。嘉数教授はこれを「無駄なエネルギー」と呼び、この熱が地球温暖化に悪い影響を与えることにつながっていると説明した。つまり、パワー半導体の損失を減らすことは、身近な暑さの問題にも関わるというのが教授の問題設定である。

教授は物質の分類にも触れた。金属のように電気が流れやすいものが導体、ガラスのように流れないものが絶縁体で、半導体はその中間にあたる。半導体は、光が当たると電気が流れ、当たらないと流れないといった形で、電気の流れを制御できる。この性質を電力の制御に使うのがパワー半導体である。

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シリコンと同じ結晶構造を持つダイヤモンド

現在、半導体のほとんどはシリコンで作られている。嘉数教授は、ダイヤモンドも実は半導体だと説明した。その根拠として示したのが結晶構造、つまり原子の並び方である。シリコンとダイヤモンドは同じ並び方をしており、違うのは並んでいる原子がケイ素か炭素かという点だけだという。

そのうえで教授は、シリコンと比べたダイヤモンドの物性値を挙げた。バンドギャップエネルギーは5倍、絶縁破壊の強さは33倍、熱の伝わりやすさは17倍、放射線への強さは10倍だという。絶縁破壊について教授は、半導体の結晶に外から電圧をかけると、ある電圧で結晶が壊れてしまい、それで特性の上限が決まると補足した。ダイヤモンドは33倍の電圧をかけても壊れないため、高い電圧をかけられ、大きな電流を流せる。その結果、大電力を扱えて効率がよく、無駄なエネルギーを出さないパワー半導体になる、というのが教授の説明である。

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30〜40年前から知られていたのに進まなかった理由

嘉数教授によれば、ダイヤモンドが半導体として優れていることを最初に言ったのは自分ではない。おそらく30年も40年も前から、学者たちはダイヤモンドの優秀さを指摘していた。それでも研究はほとんど進展しなかった。

理由はドーピングにある。半導体では不純物を少しだけ加え、電流の元になるキャリア(電子やホール)を作り出して電気を流す。ところがダイヤモンドは強く硬い半導体なので、不純物を入れてもキャリアが出てこず、電気が流れなかった。優れていると言われながら実際にはデバイスにできなかった、というのが教授の整理である。

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午前9時と午後5時にだけ流れる電流

転機になったのは、嘉数教授がダイヤモンドの研究をしていた約20年前の出来事だった。教授は毎日ダイヤモンドの電流を測っていたが、なぜか午前9時と午後5時になると電流が流れるようになった。しかもそれは月曜から金曜までで、土曜と日曜には起きなかった。

教授は最初、測定機械の故障を疑った。しかし調べるうちに、原因が二酸化窒素(NO2)だと気づいた。周囲の人から、この変化は排気ガスの濃度の変化によく似ていると指摘されたことがきっかけの一つだったという。通勤時間帯の排気ガスに含まれるNO2がダイヤモンドに作用し、ドーピングとして働いてキャリアを生み、電流が流れるようにしていた。教授はその後、実験でこれを確かめ、「大発見」だったと振り返った。

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机と椅子から15年、手のひらの上のダイヤモンド半導体

発見の後、嘉数教授は大学に移った。着任したときの研究室には机と椅子しかなく、実験装置は何もなかったという。そこから一つずつ装置をそろえ、約15年かけてダイヤモンド半導体を作れるようになった。

教授は現物を持参した。中央にある4.5ミリ角の透明な板がダイヤモンドで、宝石としての石ではなく、その上に半導体素子が作り込まれている。表面で金色に光って見えるのは、半導体素子でよく使われる電極である。この4.5ミリ角の中に、トランジスタが約70個並んでいる。しかもこれは大学の中で作れるようになったものだと教授は強調した。

最初にダイヤモンド半導体を動かしたときの回路は、手作り感のあるものだった。教授自身がはんだ付けをして作ったもので、学生よりも自分のほうがはんだ付けが上手だったと笑いながら語った。

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875MWという値と「埼玉県の全家庭」の試算

この試作デバイスの特性について、嘉数教授は次のように説明した。電流値は通常のパワー半導体と同程度が流れる。一方で電圧は、電車を動かすような高い電圧をかけても壊れない。オフのときには高電圧に耐え、オンのときには0.68アンペアが流れるパワー半導体ができたという。

どれだけの電力を制御できるかを示す値は875MWで、教授はこれを「とんでもない」高い値だと表現した。現在は直径5センチほどのダイヤモンドのウエハーも作られている。教授の試算では、その上に自分たちの技術を使えば、埼玉県のすべての家庭で使われる電力を制御できるという。これはあくまで教授が示した計算上の見積もりであり、その規模の装置を実際に作ったという話ではない。

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高周波・放射線耐性が開く用途

嘉数教授は、ダイヤモンドはキャリアが走る速さも速いため、高速動作や高い周波数での動作にも使えると述べた。現在の主流はシリコンで、さらに高効率・大電力の素子として炭化ケイ素(シリコンカーバイド)や窒化ガリウムが使われつつある。教授によれば、ダイヤモンドはその上の領域、つまりより大電力で高い周波数の用途までカバーできる。

放射線に強いことも利点として挙げた。宇宙では宇宙線という放射線が降り注いでおり、シリコンは結晶がだんだん壊れていくが、ダイヤモンドは壊れないと教授は言う。そのため、放送の地上局や人工衛星での利用が期待されている。レーダーでは現在も真空管が使われている部分があり、ダイヤモンドができれば、小型でエネルギー効率がよく、強力な電波を出せるレーダーに使えるという期待もあるという。

講演の締めくくりとして、教授は電気自動車などのパワー半導体、Beyond 5Gや6Gと呼ばれる高速通信、大量の電力を使うデータセンター、宇宙、そして研究が進んでいる量子コンピューターのメモリーを挙げた。これらの分野で近い将来ダイヤモンドが使われるようになると信じて研究している、というのが教授のまとめである。

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作り方と、まだ分かっていないこと

質疑では、堀江氏が製造方法を詳しく尋ねた。嘉数教授によると、デバイスはすべて大学で作っている。購入した人工ダイヤモンドを種結晶として使い、大学の結晶成長装置でその上にさらに高品質なダイヤモンドを作る。この結晶は天然ダイヤモンドよりも不純物が少なく、高純度で結晶の欠陥がないものだという。その上に半導体素子を作り込む。

結晶成長の原料にはメタンガス(CH4)を使う。ガスを流してプラズマの中で分解させ、炭素だけを堆積させていく。NO2は最後に表面に付ける。NO2は結晶の内部に入るのではなく表面に付いており、それによってホールというキャリアが生じる。電気は表面を流れるので、まず表面にキャリアがあればよいという考え方である。内部にもキャリアを作れればよいが、それは「これからの課題」だと教授は答えた。

堀江氏がNO2が表面でどのように結合しているのかを尋ねると、教授は、きちんと付いていることは観察できているものの、NO2の形のままなのか形を変えているのかも含め、その構造はまだよく分かっておらず研究中だと認めた。ただし作り方は確立しており、再現性もあるので、同じ方法で作れば確実に動くと述べた。

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実用化への順序と課題

実用化の時期を問われた嘉数教授は、まず研究室レベルで動いているものを実際の機器に組み込んで動作を実証し、その後に広く使ってもらうという順番になると答えた。ハードルとしては、どれだけの寿命があるのか、特性が劣化しないのか、先ほど話に出たメカニズムのように分かっていない点がまだあることを挙げた。

耐久性の試験について教授は、大学でデバイスを動かし続ける形で寿命試験をしていると説明した。ただしそれは専門家が行うような過酷な環境での試験ではなく、単に動かしているだけだという。堀江氏は、専門的な試験もやったほうがよいと指摘し、教授も同意した。

最初の用途を問われると、教授は高出力レーダーなども考えているとしつつ、現時点ではまだそこまで強い電波が出るわけではなく、基礎段階にあると述べた。今も学生がはんだ付けをして機器を作っているという。窒化ガリウムとの比較では、うまく作ればダイヤモンドのほうが性能はよいと思うとしながらも、窒化ガリウムは実際にはかなり性能がよく、同じレベルを示すのは難しいとも認めた。そのうえで、ダイヤモンドにはポテンシャルがあり、これからだと語った。

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「遅い」のか「全速力」なのか

堀江氏は、ビジネス側としてはこういうものができたらすぐ実用化したいと思ってしまうと話した。これに対し嘉数教授は、近いうちにできると思うとしたうえで、一番の問題は堀江氏のようにそう言ってくれる人がなかなかいないことだと答えた。興味は示されても、そこから先に進む人は少ないという。

堀江氏は、アカデミアの人の進み方は自分たちから見ると遅く感じることがあると率直に述べた。教授は、自分としては全速力で進めてきたと応じた。堀江氏はこれを受けて、問題は二つあると整理した。一つは、特に日本のアカデミアの時間感覚が遅いと感じること。もう一つはお金の問題である。

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人工冬眠、青色LED、スピントロニクスの事例

堀江氏は、最先端の発明をした研究者を取材し、実際にビジネスにつなげた例を紹介した。一つは、最近会社を作ったという人工冬眠である。6〜7年前に人工冬眠のニュースを見て研究者を訪ね、マウスで人工冬眠ができていることに驚いたという。堀江氏によれば、リスやクマのような冬眠する動物も実験室に連れてくると条件がそろわず冬眠しないため、ラボで冬眠させたこと自体がほぼ世界初だった。冬眠のメカニズムもよく分かっておらず、最近になって関係するニューロンが見つかり、似た仕組みで冬眠しているらしいと分かってきた段階だという。ここでも、メカニズムが完全には解明されていない点はダイヤモンドと似ている。堀江氏はさらに、冬眠すると放射線に強くなるため宇宙に応用できる点も似ていると指摘した。

この取材シリーズの第1回は、窒化ガリウムを使った青色LEDの中村修二氏で、約10年前、ノーベル賞受賞前だったと堀江氏は語った。嘉数教授は、自分たちは中村氏が青色LEDができたと言っていた頃と同じような段階にいると考えていると述べた。教授はかつてNTTの研究所に在籍しており、そこは自由に研究させてくれる環境だったため、こうした研究も許されていたという。大学に移ってからは「貧しい環境」だったが、一日も早く皆が使えるようにすることを目指してきたと語った。

堀江氏は、東北大学のスピントロニクス半導体の取材も紹介した。その技術を基礎にしたスマート計測デバイスは、10日ほど電池が持つという。堀江氏が研究者から聞いた話では、メモリーも最初からパソコンに入ったわけではなく、実用化はUSBメモリーから始まった。データがなくなっても一時的な記憶領域なので許されるかもしれないという理由である。そこで実績を積み、大型化してパソコンのメインメモリーに使っても大丈夫だとなり、今ではデータセンターで大量に使われている。スピントロニクス半導体も今は携帯用のデバイスにしか使われていないが、いずれスマートフォンなどに広がるかもしれないと堀江氏は述べた。

こうした事例を踏まえ、堀江氏は、論文で公開された技術はこれから国際競争になるので、特許を押さえながらグローバルに事業を展開する必要があり、そのための投資が要ると述べた。自分たちはそれを手伝っているという。

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熱になる電力はどれだけ減らせるのか

堀江氏は、ビジネス側の人間にはパワー半導体がどこで使われているのかピンとこないだろうと言い、どれほどのエネルギーが捨てられているのかを尋ねた。嘉数教授によれば、一般に50%ほどが熱になっていると言われている。一回ごとの変換効率は悪くないが、発電所から利用者に届くまでに何度もパワー半導体で電力変換するため、積み重なるとおそらく半分ほどが熱になるという。

どれだけ抑えられるかについて、教授は「5万倍」よくなるという計算をしていると答えた。堀江氏が、一回の変換で2〜3%ある損失が0.01%になるような世界かと確認すると、教授はそうだと応じた。二人はその帰結として、パソコンや携帯電話が熱くならず、バッテリーも長持ちする可能性、電気自動車でラジエーターが要らなくなる可能性、空冷では間に合わず水冷などが検討されているデータセンターの熱問題に触れた。

GPUへの応用を問われると、教授は原理的には作れると答えた。一番簡単なのは、今のGPUの裏側にダイヤモンドを堆積させて熱を逃がす方法で、そうした研究も行われているという。将来的には素子全体をダイヤモンドで作ることも原理的には可能だが、ダイヤモンドは硬いので加工はしにくい。ウエハーの大きさについては、シリコンが30〜45センチ程度であるのに対し、ダイヤモンドは現在5センチほどで、大型化の研究も進める必要があると教授は述べた。

普及の順序としては、今真空管が使われているような過酷な環境、ダイヤモンドでなければならない用途にまず入り、そこから徐々に全体へ広げていくという方向で二人の認識は一致した。

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宇宙での実証という提案

堀江氏は宇宙分野との接点を具体的に語った。自社のアビオニクス担当者によれば、高周波のアナログ回路はコンデンサーや抵抗の置き場所で動作しなくなることがあり、「オカルト的」「職人芸」のような設計になるという。堀江氏は、周波数に対応する波長と回路のサイズが近いために共振のような現象が起きるらしいと説明し、宇宙との通信には数GHz帯のSバンドなどが使われると述べた。

さらに堀江氏は、宇宙分野で今最も注目されているのは合成開口レーダー(SAR)だと話した。日本のQPS研究所やSynspectiveが健闘しており、例えば米国グレートプレーンズの小麦の生育状況を監視してシカゴ・マーカンタイル取引所で取引したり、テスラの工場に止まっている車の台数を数えて業績予測との差で取引したりといった形で、すでにビジネスになっているという。ただしSARはマイクロ波を地上に当てるため電力を大量に使い、太陽電池で発電してバッテリーにためた電力で短時間スキャンしては休む運用になっていると堀江氏は述べた。宇宙太陽光発電についても、地上にマイクロ波で送るより衛星に送ればよいという議論が出ており、イーロン・マスク氏の宇宙でのAIデータセンターのような構想にも、こうした技術が使われるだろうと堀江氏は見る。

堀江氏はまた、衛星の人気が高まった理由の一つとして、窒化ガリウム半導体が使えるようになったことを挙げた。それまでは真空管を使っていたため機器が大きくなり、H3やファルコン9のようなロケットでしか打ち上げられなかったが、小型ロケットでも打ち上げられるようになったことが今の衛星ブームにつながっているという。ダイヤモンドはそれ以上に進化するポテンシャルがある、というのが堀江氏の見立てである。

先のスピントロニクスのメモリーについても、ダイヤモンドとの相性がよいという話が出た。堀江氏によれば、スピンでデータを記録するメモリーは放射線の影響を受けにくく、電子回路で起きるような0と1の反転が起きにくい。ダイヤモンドと組み合わせれば、6G通信にも使えて放射線にも強い、次世代衛星の基礎技術になり得ると堀江氏は述べ、宇宙で実証して寿命などを示せるとよいと提案した。嘉数教授は「是非お願いします」と応じた。

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日本発の技術をどう育てるか

最後に堀江氏は、日本で最初に生まれた技術を米国や中国などが先に伸ばしていく状況を変え、日本の企業が技術を持って伸ばしてほしいと述べた。そのためにはアカデミアの貧しい環境を変える必要があり、そこにお金が回るよう、得られた技術でキャピタルゲインを得て再投資できる仕組みを作らなければならない、それが今一番足りない部分だというのが堀江氏の考えである。

堀江氏は、まずは宇宙での実証のようなことができるとよいとして、関係者に「繋ぎます」と申し出た。嘉数教授はこれに感謝し、対談は終わった。NO2がどのように表面に結合しているのか、結晶内部にキャリアを作れるのか、専門的な寿命試験でどこまで耐えるのか、ウエハーをどこまで大きくできるのかといった点は、動画の時点ではまだ答えの出ていない課題として残されている。